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CVD废气的种类

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发表时间:2021-09-30 16:14

       CVD具体指的是,气态化学材料在硅片沉积成薄膜的一个过程,首要用于替代或许半导体的制作,还可以制作成各种型号的薄膜层.

  CVD出产的工艺废气大致可为没有反响的输入气体和反响生成物两种,其间反响生成物又由中间生成物和反响生成物两种.有害气体的成分复杂且含量极高,有较强的毒性和腐蚀性.CVD工艺废气中有毒且腐蚀性强的气体有HCI和CIF3、HF和WF6,自燃性气体有SiH4和PH3;化合物的气体有CF4和SF6、C3F8和NF3以及C2F6等.

  在这些废气傍边的特别气体,如有毒、腐蚀性强的气体的损害是非常大的,自燃性气体相同有着很大的安全隐患;一起其间的化合物的气体大部分都是可以形成温室效应的气体,因此在现在可持续发展和节能减排的要求下,必定要让尾气处理设备进行处理才能进行排放.

  以上文章由CVD废气,酸气处理,酸雾处理为您提供,详情请点击我们的网址:www.yckjtj.com


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